Научно-практический семинар «Технологии инкапсуляции МЭМС элементов в слоях кремниевой пластины»

Нанотехнология Наука и исследования

Таганрог Точка кипения ИТА ЮФУ Таганрог

17 June 2025, 12:00 — 18 June 2025, 16:00 Moscow time

Registration has ended 18 June в 16:00

Научно-практический семинар «Технологии инкапсуляции МЭМС элементов в слоях кремниевой пластины»

Already Going:

more8

About the event

В рамках реализации плана совместных работ между ФГАОУ ВО «Южный федеральный университет», ПАО «Элемент» и Российским научным фондом по теме «Исследование и разработка технологии инкапсуляции МЭМС элементов в слоях кремниевой пластины» 16-19 июня 2025 года на базе Южного федерального университета в г. Таганроге состоится научно-практический семинар «Технологии инкапсуляции МЭМС элементов в слоях кремниевой пластины».

Также пройдет Круглый стол по вопросу координации усилий и перспективам практического внедрения результатов работ по проекту ПАО «Элемент» «Исследование конструктивно-технологических решений создания миниатюрных электростатических МЭМС сенсорики и резонаторов с инкапсуляцией механического элемента в слоях кремниевой пластины» и обсуждение вопросов подготовки кадров для отрасли с учётом опыта выполнения технологических проектов.

Schedule

17 June 2025, 12:00

Научно-практический семинар «Технологии инкапсуляции МЭМС элементов в слоях кремниевой пластины»

Зал: Кольцо инженеров (ул. Петровская, 81)

18 June 2025, 12:00

Научно-практический семинар «Технологии инкапсуляции МЭМС элементов в слоях кремниевой пластины» (часть 2. Круглый стол)

Круглый стол по вопросу координации усилий и перспективам практического внедрения результатов работ по проекту ПАО «Элемент» «Исследование конструктивно-технологических решений создания миниатюрных электростатических МЭМС сенсорики и резонаторов с инкапсуляцией механического элемента в слоях кремниевой пластины» и обсуждение вопросов подготовки кадров для отрасли с учётом опыта выполнения технологических проектов.