Заседание диссертационного совета ЮФУ 05.01, созданного на базе Института нанотехнологий, электроники и приборостроения Южного федерального университета, по защите диссертации Григорьева М.Н.

Тема: "РАЗРАБОТКА И ИССЛЕДОВАНИЕ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ОСНОВ СОЗДАНИЯ КРЕМНИЙ-УГЛЕРОДНЫХ ПЛЕНОК ДЛЯ СЕНСОРОВ ГАЗОВ И ЭЛЕКТРОДОВ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКИХ КОНДЕНСАТОРОВ" на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.06 "Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники"