413772
Плазмохимическое травление танталата лития для формирования элементов топологии и микросборки
Инновации
Новые материалы с заданными свойствами
Новые производственные технологии
Образование
ПТК
Онлайн при поддержке Точка кипения ИТА ЮФУ Таганрог
28 марта 2023, с 14:00 до 16:00 по Московскому времени
Уже участвуют:
и еще5
О мероприятии
На мероприятии будут представлены результаты исследований влияния температуры, мощности, давления и газовых добавок на скорость плазмохимического травления танталата лития в плазме SF6 и режимов микросборки на подложках из LiTaO3
Докладчик: Коняев Иван Васильевич, ведущий инженер АО "НИИЭТ"
Контакты
Организаторы
Солодовник Максим Сергеевич
