SCIENCE.POINT: Физико-технологические основы термомиграционного легирования микрообластей в объеме кремния акцепторными примесями
Таганрог, Точка кипения ИТА ЮФУ Таганрог
24 октября 2023, с 15:00 до 17:00 по Московскому времени
![Image](https://leader-id.storage.yandexcloud.net/event_photo/463059/65324d43c0eee336609794.jpg)
Уже идут:
![Солодовник Максим Сергеевич Солодовник Максим Сергеевич](https://leader-id-old.storage.yandexcloud.net/user_photo/460408/601be3df2380e848579284_180.jpg)
![Михайлова Татьяна Сергеевна Михайлова Татьяна Сергеевна](https://leader-id.storage.yandexcloud.net/user_photo/958622/628c903d7b636103393036_180.jpg)
![Вишневецкий Вячеслав Юрьевич Вишневецкий Вячеслав Юрьевич](https://v3.leader-id.ru/files/user_photo/463367/463367_200.jpg)
![Иванищева Александра Павловна Иванищева Александра Павловна](https://leader-id.storage.yandexcloud.net/user_photo/1524645/633413b743909772901921_180.jpg)
![Середин Борис Михайлович Середин Борис Михайлович](https://leader-id.storage.yandexcloud.net/user_photo/1395343/653658d6c0af6300866890_180.jpg)
![Волкова Мария Геннадьевна Волкова Мария Геннадьевна](https://leader-id.storage.yandexcloud.net/user_photo/622183/62bd5df68c844112998893_180.jpg)
О мероприятии
Научный доклад посвящен разработке основ технологии управляемого легирования микрообъемов внутри кремниевых пластин, позволяющей существенно расширить возможности совершенствования и создания новых полупроводниковых приборов. Для легирования микрообластей используется метод термомиграции (ТМ). В ходе исследований изучена кинетика миграции зон в поле температурного градиента на основе сплавов галлия и алюминия, разработаны методики формирования легирующих зон указанными металлами, разработано
нагревательное устройство, обеспечивающее достаточно однородное поле градиента температуры в пластине кремния диаметром не менее 100 мм, установлено структурное совершенство полученных микрообластей, легированных алюминием и галлием, получены опытные структуры кремниевых высоковольтных ФЭП с эффективностью преобразования солнечной энергии 13,8% (AM 1,5D).
Спикер - Заиченко Александр Николаевич, ст. преподаватель кафедры “Физика и фотоника”, Южно-Российский государственный политехнический университет (НПИ) имени М.И. Платова